เตาอบไนไตรดิ้งแบบบ่อน้ำลึกเป็นอุปกรณ์ชนิดหนึ่งที่ใช้สำหรับการบำบัดพื้นผิวไนไตรดิ้งของวัสดุโลหะ
ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ เติมแก๊สที่มีไนโตรเจน เช่น ไนโตรเจนและแอมโมเนีย ลงในเตา แหล่งจ่ายไฟของอุปกรณ์จะใช้สนามไฟฟ้าระหว่างขั้วบวกและขั้วลบเพื่อทำให้แก๊สที่มีไนโตรเจนแตกตัวเป็นไอออนและสร้างอนุภาคที่มีประจุ เช่น ไอออนไนโตรเจนและอิเล็กตรอน ทำให้เกิดพลาสมา ไอออนไนโตรเจนจะถูกเร่งภายใต้การกระทำของสนามไฟฟ้า พุ่งชนพื้นผิวของชิ้นงานโลหะด้วยความเร็วสูง พลังงานจลน์ของไอออนจะถูกแปลงเป็นพลังงานความร้อนเพื่อทำให้ชิ้นงานร้อนขึ้น ในขณะเดียวกัน ไอออนไนโตรเจนจะได้รับอิเล็กตรอนบนพื้นผิวของชิ้นงานเพื่อลดลงเป็นอะตอมไนโตรเจน อะตอมไนโตรเจนจะแทรกซึมเข้าสู่พื้นผิวโลหะและแพร่กระจายเข้าไปด้านใน ทำปฏิกิริยาเคมีกับอะตอมโลหะ สร้างชั้นไนไตรดิ้งบนพื้นผิวโลหะ
| แรงดันเอาต์พุต | ปรับได้อย่างต่อเนื่อง 0-1000V |
| กระแสสูงสุดของเอาต์พุตสูงสุด | รุ่นต่างๆ แตกต่างกัน ตั้งแต่ 30A ถึง 240A |
| ความถี่ | โดยทั่วไปอยู่ในย่านความถี่ต่ำ โดยปกติจะต่ำกว่า 100Hz ซึ่งสามารถทำให้การพุ่งชนของไอออนบนพื้นผิวของชิ้นงานสม่ำเสมอมากขึ้นและลดความเสียหายต่อชิ้นงาน |
| สุญญากาศจำกัด | โดยปกติสูงสุดถึง 10⁻¹Pa~10⁻³Pa เพื่อให้สภาพแวดล้อมสุญญากาศที่ดีสำหรับการไนไตรดิ้งด้วยไอออน ลดการรบกวนของแก๊สสิ่งเจือปนต่อกระบวนการไนไตรดิ้ง |
| อัตราการเพิ่มขึ้นของความดัน | ≤0.67Pa/h สะท้อนถึงประสิทธิภาพการปิดผนึกของตัวเตาและความเสถียรของระบบสุญญากาศ |
| อุณหภูมิการทำงานสูงสุด | 700℃ สามารถจัดการกับวัสดุพิเศษหรือข้อกำหนดกระบวนการพิเศษที่มีอุณหภูมิไนไตรดิ้งสูง |
| ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ | + / - 1 ℃ |
| ความสามารถในการรับน้ำหนักสูงสุดของเตา | ประเภทของความสามารถในการรับน้ำหนักของเตาแตกต่างกัน สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า |