심정식 이온 질화로는 금속 재료의 표면 질화 처리에 사용되는 장비의 일종입니다.
진공 환경에서 질소 및 암모니아와 같은 질소 함유 가스로 로를 채웁니다. 장치의 전원 공급 장치는 양극과 음극 사이에 전기장을 가하여 질소 함유 가스를 이온화하고 질소 이온 및 전자와 같은 하전 입자를 생성하여 플라즈마를 형성합니다. 질소 이온은 전기장의 작용 하에 가속되어 금속 공작물 표면에 고속으로 충돌하며, 이온의 운동 에너지는 열 에너지로 변환되어 공작물을 가열하고, 동시에 질소 이온은 공작물 표면에서 전자를 얻어 질소 원자로 환원되며, 질소 원자는 금속 표면으로 침투하여 내부로 확산되어 금속 원자와 화학 반응을 일으켜 금속 표면에 질화층을 형성합니다.
| 출력 전압 | 0-1000V 연속 조절 가능 |
| 최대 출력 피크 전류 | 모델에 따라 30A에서 240A까지 다양 |
| 주파수 | 일반적으로 저주파 대역에 속하며, 일반적으로 100Hz 미만으로, 이온이 공작물 표면에 더 균일하게 충돌하고 공작물 손상을 줄일 수 있습니다. |
| 한계 진공 | 일반적으로 10⁻¹Pa~10⁻³Pa까지, 이온 질화를 위한 좋은 진공 환경을 제공하고 불순물 가스의 질화 공정에 대한 간섭을 줄입니다. |
| 압력 상승 속도 | ≤0.67Pa/h, 로 본체의 밀봉 성능과 진공 시스템의 안정성을 반영 |
| 최대 작동 온도 | 700℃, 고온 질화가 필요한 특수 재료 또는 특수 공정 요구 사항을 처리할 수 있습니다. |
| 온도 제어 정확도 | + / - 1 ℃ |
| 최대 로 적재 용량 | 로 유형에 따라 적재 용량이 다르며, 고객 요구에 따라 맞춤 제작 가능 |