المعلمة التقنية
| جهد الخرج | 0-1000 فولت قابل للتعديل باستمرار |
| أقصى تيار ذروة خرج | تختلف الموديلات المختلفة، نطاق 30 أمبير ~ 200 أمبير |
| تردد | عادة ما يكون في نطاق تردد منخفض، عادة أقل من 100 هرتز، مثل عشرات هرتز، مما يمكن أن يجعل قصف الأيونات على سطح قطعة العمل أكثر انتظامًا ويقلل من تلف قطعة العمل. |
| حد الفراغ | عادة ما يصل إلى 6.7 باسكال، يمكن أن يقلل حد الفراغ المنخفض من شوائب الغاز في الفرن، مما يخلق بيئة نقية للنتردة الأيونية |
| معدل ارتفاع الضغط | ≤1.3×10⁻¹Pa/min (1×10⁻³mmHg/min) |
| أقصى درجة حرارة تشغيل | 650 درجة مئوية، يمكنها التعامل مع المواد الخاصة أو متطلبات العملية الخاصة بدرجة حرارة نتردة عالية. |
| دقة التحكم في درجة الحرارة | + / - 1 درجة مئوية |
| أقصى سعة تحميل للفرن | تختلف سعة تحميل الفرن لأنواع مختلفة، ويمكن تخصيصها حسب احتياجات العملاء |