Teknik parametreler
| Çıktı voltajı | 0-1000V sürekli ayarlanabilir |
| Maksimum çıkış zirve akımı | Farklı modeller değişir, 30A ~ 200A aralığı |
| sıklık | Genellikle düşük bir frekans bandında, genellikle 100Hz'in altında, örneğin on Hz,İş parçasının yüzeyindeki iyonların bombardımanını daha eşit hale getirebilir ve iş parçasına hasarı azaltabilir. |
| Sınırlayıcı vakum | Genellikle 6.7Pa'ya kadar, düşük sınır vakumu fırındaki gaz kirliliklerini azaltabilir ve iyon nitridleme için saf bir ortam yaratabilir. |
| Basınç artış hızı | ≤1.3×10−1Pa/dakika (1×10−3mmHg/dakika) |
| Maksimum çalışma sıcaklığı | 650°C, yüksek nitridleme sıcaklığında özel malzemeleri veya özel süreç gereksinimlerini işleyebilir. |
| Sıcaklık kontrolünün doğruluğu | + / - 1 °C |
| Fırının maksimum yükleme kapasitesi | Çeşitli fırın yükleme kapasitesi farklıdır, müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilebilir |