真空高圧ガス消光炉の「使用とメンテナンス」の専門ガイド

I.まず、「使用」を理解する：真空高圧ガス消光炉のコア特性とアプリケーションシナリオ

（i）コア特性

• 真空環境：炉内の真空度は、1×10〜1×1×10spaに達する可能性があり、これにより、加熱中のワークピースの酸化と脱炭を効果的に防止します。特に、高い表面仕上げと安定した化学組成を必要とする精密部分に適しています。
• 高圧ガス消光：窒素やアルゴンなどの不活性ガスは冷却媒体として使用され、最大10MPaのガス消光圧力があります。高速ガスフローによる強制冷却により、ワークピース（最大50〜100°/sまでの冷却速度）の急速な消光が可能になり、ワークピースの変形と亀裂のリスクが減ります。
• 対流加熱：低温範囲（≤600）では、不活性ガスによる対流循環加熱が採用され、従来の真空炉の「低温低温加熱と貧弱な温度の均一性」の問題を解決します。炉温度の均一性は±3℃以内に制御できます。

（ii）典型的なアプリケーションシナリオ

• ツールおよびダイスチール処理：たとえば、高速鋼の切削工具とコールドワークダイの消光には、最先端の酸化を防ぐために真空加熱と、均一な硬度を確保するための高圧ガス消光が必要です（HRC≥62）。
• 航空宇宙材料：チタン合金成分と超合金部品の溶液処理のために、真空環境は合金要素の揮発を防ぎ、正確な温度制御により安定した微細構造が保証されます。
• 精密コンポーネント：電子機器の自動車トランスミッションギアと精密シャフトの熱処理のために、高圧ガスの消光により、統合された「クエンチング +低温焼き付け」、その後の加工手当の削減が可能になります。

ii。標準化「操作」：真空高圧ガス消光炉のフルサイクル操作基準

（i）スタートアップ前：「検査」と「準備」が並行して堅実な安全基礎を築く

• 真空システム検査：
  真空ポンプのオイルレベル（メカニカルポンプ、拡散ポンプ）が標準スケール（オイルレベルがポンプギアの2/3をカバーする必要がある）と、オイルの品質が透明であるかどうかを確認します（オイルが黒くなったり乳化した場合は、すぐに交換してください）。
  真空バルブ（角度バルブ、バタフライバルブ）のシーリング表面を整合性のために検査し、糸くずのない布でバルブインターフェイスを拭き、シーリングパフォーマンスに影響を与えないようにします。
  真空ゲージ（イオンゲージ、抵抗ゲージ）の通常の動作をテストして、真空度表示エラーが5％を超えないようにします。
• ガス消光システム検査：
  不活性ガスシリンダーの圧力（窒素純度≥99.999％、シリンダー圧力≥10mPa）と、接続パイプラインが漏れているかどうか（ヘリウム質量分析計漏れ検出器で検出され、リーク速度≤1×10°PA ・M³）が必要かどうかを確認します。
  ガス消光ファンとデフレクターの整合性を検査します。ファンブレードが変形せず、デフレクターが均一なガスフロー循環を保証するためにブロックされていないことを確認してください。
• 電気システム検査：
  加熱要素（グラファイトチューブ、モリブデンワイヤ）が破損または変形しているかどうかを確認してください。絶縁抵抗は5mΩ以上でなければなりません（絶縁抵抗計でテスト）。
  温度制御システム（熱電対、PLCコントローラー）をテストして、設定された温度と実際の炉温度の間の誤差が≤3℃であり、過剰温度アラームデバイス（上の温度制限がプロセス温度よりも50℃高く設定されている）が敏感で信頼性が高いことを確認します。
• ワークピースおよび補助材料の準備：
  ワークピース表面から油の汚れと錆をきれいにします（揮発性物質が加熱中に真空系を汚染するのを防ぐためにアルコールで拭きます）。ワークピースの荷重容量は、有効炉チャンバーの体積の70％を超えてはなりません。ワークピースは、局所的な過熱を避けるために材料ラックに均等に配布する必要があります。
  真空シーラント（潤滑バルブシーリング表面用）と高純度の窒素（ガス消光中のガス不足を防ぐためのバックアップ用）を準備します。

（ii）操作中：「制御」のキーパラメーターを確保するための重要なパラメーター

• 真空ポンプ相：
  まず、炉内の真空度が1pa以下（約15〜30分かかる）になるまでメカニカルポンプとポンプを開始し、拡散ポンプを開始します（オイル拡散ポンプの場合、最初に拡散ポンプオイルを200〜250℃に加熱し、30分間暖かく保ち、次に高掃除機にポンプします）。
  高電気ポンピングターゲット：プロセス要件によれば、一般的なワークピース処理では、1×10秒以下のポンピングが必要ですが、精密な部品は1×10pa以下にポンプをする必要があります。ポンピング中に真空度が速すぎる場合は、マシンを停止し、漏れを確認してください。
• 加熱と温度上昇相：
  低温範囲（室温〜600℃）で、対流加熱モードを有効にし、5〜10m³/hで不活性ガスの流れを制御し、過度の温度差によるワークピースの変形を避けるために加熱速度≤10°/分を設定します。
  高温範囲（600°以上）で、放射加熱モードに切り替えます。ワークピース材料に従って加熱速度を調整します（高速鋼の場合は8℃以下、チタン合金の場合は5℃以下）。目標温度に達した後、温度を維持します（保持時間は、通常は1〜2分/mmのワークピースの厚さに基づいて計算されます）。
• 高圧ガス消光相：
  保持期間後、まず炉に不活性ガスを大気圧（ガス充填速度≤0.5MPa/min/min）で満たし、ワークピースに影響を与えないようにします）、次に高圧ガス消光システムを開始します。
  ガス消光圧力設定：ワークピースの硬度要件に従って調整します。一般に、ダイスチールの消光圧は5〜8mpaであり、チタン合金の溶液処理圧力は3〜5mpaです。ガス消光中は、リアルタイムで冷却速度を監視して、プロセス要件を満たしていることを確認します（たとえば、高速鋼を30分以下で200℃未満に冷却する必要があります）。

（iii）シャットダウン後：「クリーニング」と「保護」を組み合わせて機器の寿命を延ばす

• 真空システム処理：
  まず、拡散ポンプ加熱をオフにします。拡散ポンプオイルが50℃未満に冷却した後、機械ポンプをオフにし、炉を少量の不活性ガスで満たして大気圧に満たし、空気が真空システムに入ることと汚染を防ぎます。
  真空ポンプの入口にあるフィルターをきれいにします。フィルターに過度の破片がある場合は、圧縮空気（圧力≤0.5MPa）で吹きます。
• 炉チャンバーおよびガス消光システムのクリーニング：
  炉の温度が100℃未満に低下したら、炉のドアを開けて、炉室の内壁と、薄しい布でデフレクターから残留不純物（グラファイトダストなど）を拭きます。頑固な汚れの場合は、アルコールで湿らせた布で拭きます。
  ガス消光パイプラインのフィルターを検査します。フィルター要素がブロックされている場合は、タイムリーに交換します（通常、50のワークピースを処理した後、フィルター要素を交換します）。
• 記録と保護：
  に記入します真空高圧ガス消光炉操作記録フォーム、真空程度、加熱温度、ガス消光圧力、処理時間などの記録パラメーターの後続のプロセス最適化の基礎を提供します。
  マシンが7日間以上シャットダウンしている場合は、週に1回機械式ポンプを開始して、真空（30分間ポンプでポンプして30分間暖かく保ちます）をポンプで開始し、真空システムへの水分損傷を防ぎます。

iii。 「メンテナンス」を改良する：真空高圧ガス消光炉のための定期的なメンテナンス計画

（i）毎日のメンテナンス（毎日の操作後に実行）

• 炉のドアシーリングストリップをきれいにします（オイルの接着により不十分なシーリングと真空度の低下を防ぐために、乾燥布で拭きます）。
• 不活性ガスパイプラインインターフェイスで漏れを確認します（界面に石鹸水を塗ります。通常の動作を示す気泡はありません）。
• 温度コントローラーと真空ゲージの表面からほこりをきれいにして、明確なパラメーター表示を確保します。

（ii）定期的な検査と修理（月に1回の軽微な修理、四半期に1回の大規模な修理）

• マイナーな修理（毎月）：
  局所的な過熱または赤みがないか、加熱要素（グラファイトチューブ、モリブデンワイヤ）を検査します。休憩が見つかった場合は、同じモデルの要素に置き換えます（電気ショックを避けるために、交換中に電力が遮断されていることを確認してください）。
  真空ゲージの精度を調整します。エラーが5％を超える場合、再速度を変更します。
  機械式ポンプオイルを交換します（通常、500時間の操作後に交換します。オイルの品質が早期に悪化した場合は事前に交換します）。
• 主要な修理（四半期）：
  真空バルブのシーリング表面の包括的な検査を実施します。傷が見つかった場合は、細かいサンドペーパー（グリット以上のメッシュ）で磨き、真空シーラントを塗布します。