اجتناب از عدم سازگاری دمایی در درمان گرما: بهینه سازی چند بعدی فنی به کنترل دقیق دمای ±5 °C می رسد
2026-01-08
اجتناب از ناهماهنگی دما در عملیات حرارتی: بهینهسازی فنی چند بعدی به کنترل دمای دقیق ± 5 ℃ دست مییابد
یکنواختی دما در عملیات حرارتی یک شاخص اصلی است که عملکرد کلیدی و قوام دسته ای قطعه کار را تعیین می کند. انحرافات دما نه تنها منجر به اندازه دانه ناهموار و رفتار تبدیل فاز غیرعادی می شود، بلکه مستقیماً بر نرخ صلاحیت محصول تأثیر می گذارد. هنگامی که اختلاف دمای محلی ورق های فلزی از 20 درجه بیشتر شود، پراکندگی استحکام کششی 30٪ افزایش می یابد. برای اجزای دقیق مانند ویفرهای نیمه هادی، انحراف دمایی 5± درجه سانتیگراد می تواند باعث نوسان غلظت دوپینگ بیش از 10٪ شود که مستقیماً منجر به از بین رفتن محصول می شود. دلایل اصلی این مشکل بر سه جنبه متمرکز است: چیدمان غیر منطقی عناصر گرمایشی، گردش هوای گرم ضعیف، و عملکرد ناکافی آب بندی بدنه کوره.
یک سیستم بالغ از راه حل های هدفمند شکل گرفته است:
یک طرح کنترل دما مستقل چند منطقه ای را اتخاذ کنید، قدرت نواحی لبه را 10-15٪ افزایش دهید تا "اثر لبه" را جبران کنید. برخی از تجهیزات از طریق کنترل دمای 24 منطقه ای به کنترل با دقت بالا ± 0.8 ℃ دست می یابند.
مجهز به یک فن گردش هوای گرم گریز از مرکز با حجم زیاد 3 کیلووات و انحراف کننده های فولادی ضد زنگ 304. هنگامی که سرعت هوا به 2 متر بر ثانیه می رسد، اختلاف دمای داخل کوره را می توان از 15 درجه سانتیگراد به 3 درجه سانتیگراد کاهش داد و طبقه بندی دما را شکست.
مواد عایق با هدایت حرارتی کم مانند فیبر سرامیکی (رسانایی حرارتی <0.1 W/(m·K))، همراه با ساختار آب بندی دمنده را انتخاب کنید تا نرخ تلفات حرارتی را در 1٪ کنترل کنید و از دست دادن گرما را کاهش دهید.