Sebuah tungku sintering vakum adalah peralatan pemanasan industri yang mencapai bahan "sintering" melalui kontrol suhu yang tepat dalamlingkungan tekanan negatif (vakum)Fungsi utamanya adalah menghilangkan pori-pori internal bahan, meningkatkan struktur mikro, dan pada akhirnya meningkatkan sifat kunci bahan seperti kepadatan, kekuatan, dan konduktivitas listrik.Hal ini banyak digunakan di bidang manufaktur high-end termasuk aerospace, semikonduktor, energi baru, dan karbida semen, yang berfungsi sebagai peralatan inti untuk mempersiapkan logam presisi, keramik, dan bahan komposit.
Sinter tradisional (misalnya, sinter atmosfer) cenderung terpengaruh oleh gas seperti oksigen dan nitrogen, yang menyebabkan oksidasi material, karburasi, atau kontaminasi kotoran.Sebaliknya, tungku sinter vakum mengurangi tekanan di dalam tungku untuk10−2~10−5Pamenggunakan set pompa vakum (misalnya, pompa molekuler, pompa Roots), dan mencapai tiga tujuan utama melalui pemanasan tersegmentasi dan pelestarian panas:
- Pencegahan Oksidasi/Polusi: Lingkungan vakum mengisolasi oksigen, menghindari oksidasi logam pada suhu tinggi (misalnya, paduan titanium,Tungsten-molybdenum) sementara mengurangi reaksi kimia antara kotoran gas (e.g., H2O, CO2) dan bahan;
- Pengurangan Gas dan Pembersihan: Gas yang diserap (misalnya hidrogen, nitrogen) di dalam bahan menguap pada suhu tinggi dan dilepaskan oleh pompa vakum, mengurangi porositas bahan;
- Penumpukan yang Tepat: Transfer panas di lingkungan vakum lebih seragam (terutama melalui transfer panas radian).Hal ini memastikan pertumbuhan yang seragam dari material mikrokristal dan menghindari over-sintering lokal atau sintering tidak lengkap.
Struktur tungku sintering vakum dirancang di sekitar "penyegelan vakum", "pengendalian suhu yang tepat", dan "keamanan dan stabilitas", terutama termasuk 5 bagian berikut:
Bahan yang berbeda memiliki perbedaan yang signifikan dalam persyaratan sintering, sehingga tungku sintering vakum perlu dirancang secara khusus.
-
Diklasifikasikan menurut elemen pemanas
- Jenis yang dipanaskan dengan grafit: Unsur pemanas adalah grafit kemurnian tinggi, yang tahan terhadap suhu tinggi (hingga 2200°C) dan memiliki konduksi panas yang seragam.Tungsten-kobalt paduan) dan bahan grafit;
- Jenis yang dipanaskan logam: Elemen pemanasan adalah kawat molibdenum atau kawat wolfram, dengan tingkat vakum yang lebih tinggi (hingga 10−5Pa).
- Jenis keramik yang dipanaskan: Unsur pemanas adalah batang SiC atau batang MoSi2, cocok untuk sinter bahan keramik seperti alumina dan silikon nitrida untuk menghindari kontaminasi logam.
-
Diklasifikasikan menurut skenario aplikasi
- Tungku khusus untuk karbida semen: Digunakan untuk sinter karbida semen (misalnya, paduan WC-Co) untuk alat pemotong dan cetakan, dan perlu dikombinasikan dengan proses "dewaxing" (untuk menghilangkan agen pembentuk dalam bahan);
- Tungku khusus untuk semikonduktor: Digunakan untuk sinter wafer silikon dan wafer silikon karbida (SiC), yang membutuhkan tingkat vakum yang sangat tinggi (10-6Pa) dan kebersihan untuk menghindari kotoran yang mempengaruhi kinerja semikonduktor;
- Tungku Khusus untuk Metalurgi Serbuk: Digunakan untuk sinter bubuk logam seperti bubuk besi dan bubuk tembaga, dan dapat mewujudkan "sinter + penekanan panas" terintegrasi (meningkatkan kepadatan lebih lanjut melalui penerapan tekanan).
Tungku sinter vakum adalah peralatan inti dalam banyak industri strategis yang muncul.
- Perlengkapan udara: Persiapan bilah mesin paduan titanium dan ruang pembakaran paduan super (yang harus menahan suhu tinggi di atas 1000 °C tanpa cacat oksidasi);
- Semikonduktor: "Sintering bonding" dari perangkat daya SiC (sinter chip dan substrat dengan solder logam untuk meningkatkan efisiensi disipasi panas);
- Energi Baru: Sintering bahan katode (misalnya, elektrolit sulfida) untuk baterai solid-state (lingkungan vakum mencegah elektrolit bereaksi dengan udara);
- Karbida semen: Sinter paduan WC-Co untuk alat pemotong dan bor pertambangan (degasing vakum dapat mengurangi risiko alat pecah);
- Perangkat Medis: Sintering sendi buatan (paduan titanium/bahan keramik) (membutuhkan kepadatan yang sangat tinggi untuk mencegah infiltrasi cairan tubuh dan korosi).
-
Indikator Utama untuk Seleksi
- Suhu Maksimum: Dipilih berdasarkan suhu sintering bahan (misalnya, lebih dari 1600 °C untuk keramik, 800 ~ 1200 °C untuk bubuk logam);
- Tingkat vakum: 10−4Pa atau lebih tinggi untuk logam aktif (misalnya, titanium), dan 10−2Pa cukup untuk bubuk logam biasa;
- Ukuran Ruang Tungku: Mengimbangi volume produksi (kamar tungku laboratorium kecil < 50L, ruang tungku industri besar hingga 500L atau lebih);
- Keakuratan Kontrol Suhu: ± 0,5°C untuk aplikasi kelas atas (misalnya, semikonduktor), dan ± 1°C untuk metalurgi bubuk biasa.
-
Peringatan Utama untuk Penggunaan
- Pemeriksaan Tingkat Vakum: Periksa kedap udara badan tungku (misalnya, menggunakan detektor kebocoran spektrometer massa helium) sebelum setiap memulai untuk menghindari oksidasi bahan yang disebabkan oleh kebocoran udara;
- Pemeliharaan Unsur Pemanasan: Grafit elemen pemanas harus dicegah dari kontak dengan oksigen (mudah teroksidasi dan terbakar pada suhu tinggi),dan elemen pemanas logam harus dilindungi dari "penyemprotan bahan" (bahan cair menempel pada elemen yang menyebabkan sirkuit pendek);
- Perlindungan pendinginan: Setelah sinter, tunggu sampai suhu tungku turun di bawah 200°C sebelum memecahkan vakum (memasukkan udara) untuk menghindari oksidasi instan bahan suhu tinggi ketika terkena udara.
Karena manufaktur kelas atas memberlakukan persyaratan yang lebih tinggi pada kinerja material, tungku sinter vakum berkembang dalam dua arah:
- Kecerdasan: Memperkenalkan algoritma kontrol suhu AI untuk mengoptimalkan kurva sintering secara otomatis (misalnya, menyesuaikan laju pemanasan sesuai dengan batch bahan);mengintegrasikan Internet of Things untuk memantau tekanan dan suhu tungku secara real time, memungkinkan pengoperasian dan pemeliharaan jarak jauh;
- Peningkatan dan Integrasi: Mengembangkan peralatan berskala besar dengan ukuran ruang tungku lebih dari 1 m untuk bantalan tenaga angin dan komponen ruang angkasa besar; sementara itu,mengintegrasikan seluruh proses "dewaxing - sintering - hot pressing - cooling" untuk mengurangi polusi yang disebabkan oleh transfer bahan antara proses.
Kesimpulannya, tungku sinter vakum adalah jembatan utama yang menghubungkan "bahan baku bubuk" dan "komponen presisi kelas atas".Tingkat teknis mereka secara langsung mempengaruhi kinerja produk industri hilir, dan mereka adalah salah satu simbol penting mengukur kemampuan manufaktur high-end suatu negara.